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富士通利用石墨烯试制气体传感器

发布时间:2016-12-06 09:37内容来源:网络整理 点击:
富士通利用石墨烯试制气体传感器

  富士通开发出了采用石墨烯的半导体气体传感器。将在半导体元件及工艺技术相关国际会议“IEDM 2016”(12月37日、旧金山)上就其详细情况发表演讲(演讲序号:18.2)。该传感器的特点是灵敏度较高,选择性较大。

  试制的气体传感器将普通的MOSFET栅极电极换了成了石墨烯。这样一来,NH3和NO2吸附到石墨烯上时,MOSFET的漏极电流就会出现变化。检测到NO2时,MOSFET的漏极电流会减少,检测到NH3时,MOSFET的漏极电流会增加。

  通过检测这种漏极电流的变化,在室温下,可检测到7ppb(1ppb为十亿分之一)的NO2和420ppb的NH3。不过,该传感器对SO2、H2S和乙醛基本无反应。传感器的灵敏度可以调节。(记者:根津祯)

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